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四探针测电阻率（四探针测电阻率原理）

发布时间：2023-09-09
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四探针法选择样品不同位置对测试结果的影响

C的大小取决于四探针的排列方法和针距，探针的位置和间距确定以后，探针系数C就是一个常数；V23为3两探针之间的电压，单位为伏特；I为通过样品的电流，单位为安培。

四探针电阻率测试仪也有很多种，例如高温的或者常温的，不同的四探针电阻率测试仪针对不同的材料测量的参数也是不同的。

这些因素造成四探针法对于电阻值的微小变化不敏感，阻碍了仔细分析材料组织结构的微弱变化过程。

四探针法测电阻率为什么对样品厚度形状和探针进行修正

1、一般掺杂硅单晶的掺杂层厚度都是一个等效值，在掺杂层内，掺杂浓度并不均匀，导致电阻率在纵向不均匀，因此必须修正厚度，得到等效厚度值。

2、如果样品的线度相对探针间距大不多时，上式中的系数c必须加以适当的修正，修正值与被测样品的形状和大小有关。

3、对于厚度为W（远小于长和宽）的薄半导体片，得到电阻率为ρ=ηW(V/I)，式中η是修正系数。

4、四探针测试技术 是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上，由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I，然后测量出中间两根探针之间的电压V，就可以求出半导体的电阻率。

5、是侦探针，工作原理是他的旋转里面有一个齿轮卡住一个圆圈，所以它只能卡住一个圆球，它这个弹球才可以进行，他用这个探针才可以达到一定的测试高度，所以他手持式的试探针工作原理一般都是齿轮式工作原理。

6、你做的薄膜每层膜厚多少？一层的样品都测不出来么？初始电流达到532μA是对样品厚度远小于二分之探针间距的薄膜样品的修正值，如果超过这个限制，这个修正值也就没有意义了。

四探针法电阻率测试,四探针有什么特点?

1、四探针测试技术，简称为四探针法，是测量半导体电阻率最常用的一种方法。

2、四探针法通常用来测量半导体的电阻率。四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要校准；有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法校准。

3、四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要较准；有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法较准。

4、由于四探针测量法能够消除电极接触电阻的影响，因此能够提供更准确的体积电阻率测量结果。二探针测量法是一种简单的体积电阻率测量方法，适用于电阻较大或非常规形状的样品。

5、具有结构简单、线性度好、灵敏度高、测试结果稳定、操作安全等优点，其性能远高于通常的电压电流法。仪器由参数测量系统、油杯加热控温系统两部分组成，具有自动计时、液晶显示功能。可测量绝缘油体积电阻率。

6、高温两探针夹具是为方便操作，减少测试干扰源，在高温四探针夹具的基础上做简化设计。高温四探针夹具主要采用四探针法测量电阻，主要是为了消除接触电阻的影响，一般测试电阻较小的材料。

四探针法中,方块电阻就是表面电阻率吗?可以采用这种四探针法直接测试薄...

1、四探针直接测得的是表面电阻（率），俗称方块电阻，这比万用表准些。万用表直接测得的是电阻，要换算电阻率还要其他参数。四探针是基于四电极法，四电极法的最大特点是可以消除探针和待测物质之间的接触电阻。两电极不行。

2、四探针法测方块电阻的原理四探针法是一种简便的测量电阻率的方法。对于一般的线性材料，我们常常用电阻来表征某一段传输电流的能力，其满足以下关系式：(式3-1)其中ρ、l和s分别表示材料本身的电阻率、长度和横截面积。

3、四探针测试技术，简称为四探针法，是测量半导体电阻率最常用的一种方法。

用四探针法测量金属薄膜电阻率时可能产生误差的根源

四探针测试技术 是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上，由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I，然后测量出中间两根探针之间的电压V，就可以求出半导体的电阻率。

影响电阻或电阻率测试误差的五个主要因素，包括：环境温度和湿度、测试电压（电场强度）、测试时间、测试设备泄漏和外部干扰。a.环境温度和湿度 典型材料的电阻值随着环境温度和湿度的增加而降低。

仪器误差：测量的仪器本身的误差，比如1%，0.5%...方法误差：用电桥的不同频率，交直流，接线方法，万用表，伏安法等，数据会有小差距。环境误差：环境温度、湿度、电磁干扰，甚至光照，也会产生误差。

测量电阻率的方法很多，有两探针法，四探针法，单探针扩展电阻法，范德堡法等，我们这里介绍的是四探针法。因为这种方法简便可行，适于批量生产，所以目前得到了广泛应用。

四探针法通常用来测量半导体的电阻率。四探针法测量电阻率有个非常大的优点，不需要校准；有时用别的方法测量电阻率时还用四探针法校准。四探针法同一电流状况下正反向电压所测得电阻率值不同需要通过施加激励电流检测电压。

四探针测试技术，是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上，由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I，然后测量出中间两根探针之间的电压V，就可以求出半导体的电阻率。

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